Удаление тонкопленочных покрытий с отбракованных оптических изделий

При нанесении на поверхность оптических материалов просветляющих оптических покрытий из оксидов титана, циркония, гафния, тантала и других металлов имеют место отклонения от требований ГОСТа по оптическим параметрам. В этом случае для снятия отбракованного тонкопленочного покрытия прибегают к механической шлифовке и последующей полировке оптического изделия. При этом применяются пасты, содержащие оксиды редкоземельных элементов, алмазную пудру. Обработка оптических деталей диаметром до 80 мм продолжается в течение 1 месяца, а диаметров до трех метров - 8-10 месяцев.

При использовании в оптико-механической промышленности для нанесения тонкопленочных покрытий применяется электровакуумная аппаратура. Ее детали покрываются пленками оксидов Ti, Zr, Hf, Та. Для их удаления применяется обработка азотной, серной, плавиковой и соляной кислотами. Температура обработки достигает 200°С. Все это приводит к коррозии деталей из нержавеющей стали. Для исключения перечисленных недостатков существующей технологии удаление многослойных покрытий типа ZrCb-SiCE, HfC^-SiCb со стеклянной подложки применяют состав: водный раствор КОН (98,5-99,5 вес. %), ПАВ ОП-10 (0,5-1,5 вес. %) [239]. С введением органических лигандов скорость процесса возрастает [15]. В результате адсорбции лиганда на активных центрах поверхности оптического материала исключается взаимодействие стекла со щелочью. Одновременно снижается поверхностная энергия, происходит адсорбционное понижение прочности стекла и отслаивание покрытия. Для удаления с деталей электровакуумной аппаратуры оксидных пленок тугоплавких металлов применяют состав, обеспечивающий донорно-акцепторное взаимодействие оксидов с органическим лигандом [240]: азотная кислота (плотность 1,42 г./см ) - 20-30 %, плавиковая кислота (плотность 1,12 г./см ) - 4- 6%, 2-нафтол-1-нитрозо- 0,2-0,4 %, остальное- вода. При этом не обнаруживаются дефекты поверхности оптического изделия. Использование донорно-акцепторных систем позволяет удалять оптические покрытия германий-монооксид кремния с полупроводниковых оптических изделий из арсенидов индия и галлия [241]. В табл. 67 приводятся технологические параметры процесса.

Таблица 67

Технологические параметры процесса удаления оптических покрытий германий - моноокид кремния с оптических изделий из арсенидов индия и галлия

Состав

Содержание компонентов в растворе, мае. %

т

/

Класс чистоты К

Характери- стика поверхности после снятия покрытия

Соли

СА в растворителе

./*

С покрытием

*

  • *
  • *

Uн

X

"3- г

X

Z

О

? д:

и

X

<

ДМФА

ТХЭ

ДМСО

о

X

Покрытие

  • *
  • *

1

о о

о о

'

<3

<3

о

O'

ттГ

InA

S

m

>

VIII

Не имеет дефектов

2

12,0

12,0

ЧО

?

'

'

70,0

ОО

ттГ

InA

S

m

in

>

>

Не имеет дефектов

3

14,0

14,0

'

CD

ОО

'

'

ЧО

о

40

InA

s

ттГ

>

>

Не имеет дефектов

4

16,0

16,0

'

?

'

о

ос"

о

InA

s

in

>

>

Не имеет дефектов

5

18,0

18,0

'

12,0

'

'

52,0

Т

InA

s

in

>

><

дефекты в виде ямок травления

6

14,0

14,0

'

?

ос"

'

64,0

О

о

40

Ga

As

ЧО

in

>

>

Не имеет дефектов

Примечание: СА - салицилальанилин; АН - ацетонитрил; ДМФА - диметилфор- мамид; ТХЭ - трихлорэтилен; ДМСО - диметилсульфоксид;/- коэффициент пропускания; /* - с покрытием; /** - после удаления покрытия; К* - класс чистоты с покрытием; К** - после удаления покрытия.

Приведенный состав позволяет существенно ускорить процесс удаления оксидной пленки. При этом не происходит растрава поверхности.

Использование в качестве лиганда салицилальанилина в композиции для снятия покрытия заметно улучшило технологические показатели процесса. При этом не изменилось качество оптического изделия.

 
Посмотреть оригинал
< Пред   СОДЕРЖАНИЕ   ОРИГИНАЛ   След >